三氯氢硅是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。
制备
经干燥的硅粉在氯化沸腾炉中与干燥氯化氢气体在340°C下进行反应，生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，再经冷凝，得成品。利用硅铁和HCl的反应也可以得到产物。
用途
用作有机硅化合物的原料，也是生产多晶硅的基本原料。
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